洁净度等级标准
发布日期：2020-11-06 12:53 浏览次数：
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洁净度等级标准
洁净度等级标准ISO14644根据悬浮粒子浓度这个唯一指标来划分洁净室（区）及相关受控环境中空气洁净度的等级，并且仅考虑粒径限值（低限）0.1um～0.5um范围内累计分布的粒子群。根据粒子径，可以划分为常规粒子（0.1um～0.5um）、超微粒子（＜0.1um）和宏粒子（＞5.0um）。
空气洁净度分级标准：ISO14644-1（国际标准）
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空气洁净
度等级(N)
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大于或等于所标粒径的粒子最大浓度限值（个/每立方米空气粒子）
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0.1um
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0.2um
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0.3um
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0.5um
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1.0um
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5.0um
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ISO Class1
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10
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2
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ISO Class2
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100
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24
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10
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4
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ISO Class3
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1,000
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237
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102
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35
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8
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ISO Class4
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10,000
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2,370
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1,020
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352
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83
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ISO Class5
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100,000
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23,700
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10,200
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3,520
|
832
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29
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ISO Class6
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1,000,000
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237,000
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102,000
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35,200
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8,320
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293
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ISO Class7
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352,000
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83,200
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2,930
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ISO Class8
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3,520,000
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832,000
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29,300
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ISO Class9
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