等级标准和规范在经济和科技发达的国家和地区都有自己的标准，都规定了有关的洁净度等级。
例如：美国、日本、西欧、北欧、俄罗斯等。我国于1984年颁布《设计规范》（GBJ73-84），1996年该规范进行较大的修改，1990年颁布《洁净室施工及验收规范》（JGJ71-90）以指导施工和验收的重要文件。目前，该规范在重新修订中。
GBJ73-84规定的洁净度等级
|
等级 |
每立方米（升）空气中》0.5μm尘粒数 |
每立方米（升）空气中》5μm尘粒数 |
|
100 |
《35*100（〈3.5〉 |
|
|
1000 |
《35*1000（〈35〉 |
《250（〈0.25〉 |
|
10000 |
《35*10000（〈350〉 |
《2500（〈2.5〉 |
|
100000 |
《35*100000（〈3500〉 |
《25000（〈25〉 |
美国联邦标准FS209E中的洁净等级
|
等级名称 |
等级限值 |
||||||||||
|
0.1μm |
0.2μm |
0.3μm |
0.5μm |
5μm |
|||||||
|
容积单位 |
容积单位 |
容积单位 |
容积单位 |
容积单位 |
|||||||
|
国际单位 |
英制 单位 |
m3 |
Ft3 |
m3 |
Ft3 |
m3 |
Ft3 |
m3 |
Ft3 |
m3 |
Ft3 |
|
M1.0 |
|
350 |
9.91 |
75.7 |
2.14 |
30.9 |
0.875 |
10 |
0.283 |
/ |
/ |
|
M1.5 |
1 |
1240 |
35.0 |
265.0 |
7.5 |
106 |
3 |
35.3 |
1 |
/ |
/ |
|
M2.0 |
|
3500 |
99.1 |
757 |
21.4 |
309 |
8.75 |
100 |
2.83 |
/ |
/ |
|
M2.5 |
10 |
12400 |
350.0 |
2650 |
75 |
1060 |
30 |
353 |
10 |
/ |
/ |
|
M3.0 |
|
35000 |
991.0 |
7570 |
214 |
3090 |
87.5 |
1000 |
28.3 |
/ |
/ |
|
M3.5 |
100 |
/ |
/ |
26500 |
750 |
10600 |
300 |
3530 |
100 |
/ |
/ |
|
M4.0 |
|
/ |
/ |
75700 |
2140 |
30900 |
875 |
10000 |
283 |
/ |
/ |
|
M4.5 |
1000 |
/ |
/ |
/ |
/ |
/ |
/ |
35300 |
1000 |
247 |
7 |
|
M5.0 |
|
/ |
/ |
/ |
/ |
/ |
/ |
100000 |
2830 |
618 |
17.5 |
|
M5.5 |
10000 |
/ |
/ |
/ |
/ |
/ |
/ |
353000 |
10000 |
2470 |
70 |
|
M6.0 |
|
/ |
/ |
/ |
/ |
/ |
/ |
1000000 |
28300 |
6180 |
175 |
|
M6.5 |
100000 |
/ |
/ |
/ |
/ |
/ |
/ |
3530000 |
100000 |
24700 |
700 |
|
M7.0 |
|
/ |
/ |
/ |
/ |
/ |
/ |
10000000 |
283000 |
61800 |
1750 |
美国宇航局标准NHB5340.2中的洁净等级
|
生物 洁净 室标准 |
尘埃 |
生物粒子 |
压力 |
温度 |
湿度 |
气流 |
照度 |
||
|
粒径 (μm) |
个/L |
浮游量 (个/L) |
浮沉量 (个/m2周) |
mmH2O |
℃ |
% |
换气 次数 |
Lx |
|
|
100 |
≥0.5 |
≤3.5 |
≤0.0035 |
12900 |
≥1.25 |
指定数 |
40~45 |
|
1000~1620 |
|
10000 |
≥0.5 ≥5.0 |
≤350 ≤2.3 |
≤0.0176 |
64600 |
≥1.25 |
|
|||
|
100000 |
≥0.5 ≥5.0 |
≤3500 ≤23 |
≤0.0884 |
323000 |
≥1.25 |
||||
日本工业标准JISB-9920-1989中的洁净度等级
|
粒径(μm) |
洁净度等级(个/m3) |
|||||||
|
1级 |
2级 |
3级 |
4级 |
5级 |
6级 |
7级 |
8级 |
|
|
0.1 |
101 |
102 |
103 |
104 |
105 |
106 |
107 |
108 |
|
0.2 |
2 |
24 |
236 |
2360 |
23600 |
|
|
|
|
0.3 |
1 |
10 |
101 |
1010 |
10100 |
101000 |
1010000 |
10100000 |
|
0.5 |
0.35 |
3.5 |
35 |
350 |
3500 |
35000 |
350000 |
3500000 |
|
5.0 |
/ |
/ |
/ |
/ |
29 |
290 |
2900 |
29000 |
